晶瑞電材：已(yǐ)啓動ArF（193）高端光刻膠研(yán)發，KrF光刻膠完成中試

　　12月15日，晶瑞電材(cái)在特定對象調研活動中表示，目前ArF(193)高(gāo)端光刻膠研發(fā)工作已正式啓動，已完成光刻機(jī)、勻膠顯影機、掃描電(diàn)鏡、台階儀等設備購置，其中ASML1900Gi型光刻機設備正在積極調試(shì)中。同(tóng)時公司正在積極開展(zhǎn)對上遊材料樹脂單體及配方的研究。

 

　　公司高(gāo)端KrF(248)光刻膠(jiāo)已完成中試，建成了中試示(shì)範線，已進入客戶測試階(jiē)段(duàn)。近(jìn)期(qī)已購得KrF光刻機一台，可用于KrF光刻膠的曝(pù)光測(cè)試，同時公司KrF光刻膠量産化生産(chǎn)線(xiàn)正在積極建設中。

 

　　據晶瑞電材(cái)表示，此前，公司(sī)已經購(gòu)得用于負膠、g 線、i線、ArF 等 4 台(tái)光刻(kè)機，再加之此次購得的KrF光刻機，公司已經(jīng)到位5台光刻機。

 

來源(yuán)：晶瑞(ruì)電材官網

 

　　此外據晶瑞電材透露，晶瑞(湖北)微電子(zǐ)材料項目一期目前正在設備安裝調試階(jiē)段(duàn)。

 

　　據悉(xī)，2019年11月，晶瑞(ruì)電材(原晶瑞股份)發布公(gōng)告稱，拟在湖北(běi)省潛(qián)江市投資建設晶瑞(湖北)微電子材料項目，生産光刻膠(jiāo)及其相關配(pèi)套的功能性材料(liào)、電子級雙氧水、電子級氨水等半導體及面闆顯示用電子材料等，項目計劃總投(tóu)資約(yuē)爲人民币15.2億元。

 

　　晶瑞電材在該(gāi)調研活動中還表示，受益于我(wǒ)國半導體材料行(háng)業國産替代(dài)進程提速(sù)，下遊芯片廠商需求增(zēng)長(zhǎng)，當前(qián)公司主導産品半導體級光刻膠及配套材料、超(chāo)淨高純試(shì)劑(jì)、锂電(diàn)池材料等産銷兩(liǎng)旺。

 

　　未來随着公司 KrF 光刻(kè)膠測試完成并逐步量(liàng)産、ArF 光刻膠研發成功并(bìng)最終量産，以及公司南通、陝西、四川等基(jī)地新增的高純硫酸、NMP、光刻膠等産品産能的逐步釋(shì)放，有望成(chéng)爲公司新的利潤增長點。