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光刻膠 | 半導(dǎo)體(tǐ)高壁壘核心材料

導言：光刻膠目前廣泛用于光電(diàn)信息産業的(de)微細圖形線路加工制作，光刻工(gōng)藝(yì)的成本約(yuē)占整個芯片制造(zào)工藝的35%，耗時占整個芯片(piàn)工藝的40%到60%，是(shì)半導體制造中的核心工藝。光刻膠材料約(yuē)占芯片制造(zào)材(cái)料總(zǒng)成本的4%，是半導體集成電路制造的核心材料。   中國光刻膠市場增速高于(yú)國(guó)際水平，據前瞻産業研究院數據，2019年我國光刻膠本土供應量約70億元，自2010年起複合增(zēng)速達11%，遠高于(yú)全球增速(sù)，但本(běn)土供應量在全球占(zhàn)比(bǐ)僅10%左右，且以已經實現國産替代(dài)的主要是中低端PCB光刻膠，LCD和半導體(tǐ)領域的光刻膠自給率極低。   光刻膠(jiāo)是圖形轉移(yí)介質，其利用光照反應後溶解度不同将掩(yǎn)膜版圖形轉移至襯底上，主要由感光劑(光引發劑)、聚合劑(感光樹脂)、溶劑與(yǔ)助劑構成。   光刻膠原材料主要爲樹脂(zhī)、溶劑和(hé)其他添加劑。其中溶劑質量占(zhàn)比最大，一般在80%以上。其他(tā)添加劑質量占比雖(suī)不足5%，卻是決定(dìng)光刻膠特有性質的關鍵材料，包括光敏劑(jì)、表面活(huó)性劑等材料。   在光刻工藝中，光刻膠(jiāo)被均勻塗布在矽片、玻璃和金屬等(děng)不同的襯底上，經曝光、顯(xiǎn)影和蝕刻等工序将掩膜版(bǎn)上(shàng)的圖形轉移到薄膜(mó)上，形成與掩膜版完全對應的(de)幾何圖形。   光刻膠(jiāo)可根據其下遊應(yīng)用領域分(fèn)爲半(bàn)導體光刻膠、面闆光(guāng)刻膠和PCB光刻膠三類。   半導體光(guāng)刻膠 目前，KrF/ArF仍是主流的加工(gōng)材料。光刻技術随着集成電路的發展經曆了從G線（436nm）光刻，H線（405nm）光刻，I線(xiàn)（365nm）光(guāng)刻，到深紫外(wài)線DUV光刻（KrF248nm和ArF193nm）、193nm浸沒式加多重成像技術（32nm-7nm），在到極端紫外線（EUV，＜13.5nm）光刻的發展，甚至采用非光學光刻（電子束曝光、離子束(shù)曝光），以相應波(bō)長(zhǎng)爲感光波長的各類光刻膠也應用而生。 光(guāng)刻膠市場行業集中度高。日本企業在半導體(tǐ)光刻膠領域占據絕對優勢。半導體光刻膠主(zhǔ)要生産(chǎn)企業包括日本東京應化、JSR、住友化學(xué)、信越化學；韓國東進世美肯；美國(guó)陶氏杜邦，其中日本企業占據約70%市場(chǎng)份額。分産品看，東(dōng)京(jīng)應(yīng)化在g線/i線和Krf光刻膠領(lǐng)域(yù)居龍頭地位，市場份額分(fèn)别達到27.5%和32.7%。JSR在Arf光刻膠領域市占率最高，爲25.6%。 根據富士(shì)經濟預測，2023年全球ArF、KrF膠産能有望達到(dào)1870、3650噸，市場規模近(jìn)49、28億元。日本(běn)光刻膠龍(lóng)頭JSR、TOK包括光刻膠在内的業務毛(máo)利率約40%，其中光刻膠原料成本約占90%。 國内(nèi)半導體用(yòng)光刻膠生産企業包括上海新陽、南大光電、晶瑞股(gǔ)份、北京科華、恒坤股份。目前隻有北京科華、晶(jīng)瑞股份具備量(liàng)産KrF光刻膠能力，北京科(kē)華産品(pǐn)已爲中芯國際(jì)供貨。上海(hǎi)新陽在建的19000噸/年ArF（幹法）光(guāng)刻膠項目(mù)預計2022年達産。   面闆(pǎn)光刻膠 光刻膠是(shì)LCD面闆(pǎn)制造的關鍵材料，根據使用(yòng)對(duì)象的不同，又可分爲RGB膠、BM膠、OC膠、PS膠、TFT膠等。 面闆光(guāng)刻膠主要包括TFT配線用光刻膠、LCD/TP襯墊料(liào)光刻膠、彩色光刻膠及黑(hēi)色光刻膠四大(dà)類别。其中TFT配線用光(guāng)刻膠用于對ITO布線(xiàn)，LCD/TP沉澱料光刻膠用(yòng)于使(shǐ)LCD兩個玻璃基闆間的(de)液晶材料厚度保持(chí)恒定。彩色光刻膠及黑色光刻膠可(kě)賦予彩色濾光片顯色功能。 面闆光刻膠市場需要構成穩定，彩色光(guāng)刻膠需求量領先(xiān)，預計2022年全(quán)球銷售量将達22900噸，銷售額将達8.77億(yì)美元。 TFT面闆用光刻膠、LCD/TP襯墊料光刻膠、黑(hēi)色光刻膠銷售額2022年預計分(fèn)别達(dá)到(dào)3.21億美元、2.51億(yì)美元(yuán)、1.99億美元。 根據智研咨詢測算，2020年全球面闆光刻膠市場規(guī)模将達到167億人民币，增(zēng)速維持在4%左(zuǒ)右。根據我們的測算，到(dào)2025年光刻膠市場規模将達到203億人民币(bì)。其中，伴随LCD産業中心的轉移(yí)，我國LCD光刻膠市場規模及(jí)國産化(huà)率有望逐步提升。   PCB用(yòng)光刻膠 PCB光刻(kè)膠可根據塗布方式分爲UV固(gù)化油墨和UV噴塗油墨。目前國内PCB油墨供應(yīng)商已逐步實現國産替代(dài)，容大感光、廣信材料等企業已掌握(wò)PCB油(yóu)墨關鍵技術。 國内對TFT光刻膠和半(bàn)導體(tǐ)光刻膠仍在起步(bù)探索階段(duàn)。晶瑞股份、雅克科技、永太科技、容(róng)大感(gǎn)光、欣奕華、中電(diàn)彩虹、飛凱材(cái)料在TFT光(guāng)刻膠領域均有布局，其中飛凱(kǎi)材料、北旭電子規劃(huà)産能高達(dá)5000噸/年，雅克科技通過收購LG化學下屬彩色光刻膠事業部切入此市場，在渠道和技(jì)術方(fāng)面具備優勢。 光刻膠等技術壁(bì)壘極高的行業，實(shí)現技術層面的突(tū)破是基礎、其次，需不斷改進工藝，滿(mǎn)足半導體行業(yè)快速發展的需要。 由(yóu)于光刻膠等行業認證時間較(jiào)長，客戶不(bú)會輕易更(gèng)換供應商，因此進入主流供應鏈是極其必要的。國内光刻膠(jiāo)生産商未(wèi)來有望把握中國半(bàn)導體行業進口替(tì)代契機，實現快速發展。   ◆ 資料來源：電子(zǐ)材料(liào)圈 ◆ 免責聲明：所載内容來源于互聯網，微信公衆号等公開渠道，我們對文中觀點持中立态(tài)度，本文僅供參考、交流。轉載的稿件版權歸原作者和機構所有。

發布(bù)時間:

2022-08-15

上海(hǎi)新陽：與Heraeus簽訂《合作備忘錄》，推進半導體光刻膠發展

　　近日，上海新陽半導(dǎo)體材料(liào)股份有限(xiàn)公司發布了關于簽訂《合(hé)作備忘錄(lù)》的公(gōng)告，公告(gào)顯示上海新陽與 HeraeusDeutschland GmbH & Co. KG(以下(xià)簡稱“Heraeus”)簽署的《合作備忘錄》系雙方就建立合作(zuò)關系而(ér)簽署的框架協議，爲解決中國半導體供應鏈面臨的(de)新挑戰，推進半導體(tǐ)光刻膠的發展，雙方将深(shēn)度合作，共同努力優化創(chuàng)新的(de)光刻膠解決方案。   　　圖片來源：上(shàng)海新陽   　　公告稱(chēng)上海新陽作爲(wèi)國内集成電路制造(zào)關(guān)鍵工藝材料供應商，自立項進行光刻(kè)膠項目研發以(yǐ)來，将突破集成電路高端光刻膠國外壟斷，實(shí)現集成(chéng)電路高端光刻(kè)膠材料的國産化(huà)作爲發展目标，在ArF幹法、KrF厚膜及I線光刻膠方面已有技術與産品的突破，部分産品已經拿到訂單。   　　上海(hǎi)新陽表示，公司與Heraeus簽署本(běn)協議，旨在完善(shàn)光刻膠(jiāo)供應鏈，爲光(guāng)刻膠項目的開展提供材料和技術保障，對加快公司(sī)集成電路(lù)制(zhì)造用光刻膠産品研發項目進度有積極影響，有利于加速落實公司發展戰略，提高公司可持續(xù)發展能力。   　　據上海新(xīn)陽2021年第三季度報告(gào)顯示，今年(nián)前三季度(dù)公司實(shí)現營業收入實現(xiàn)營業(yè)收入71,195.83萬元，較上年同比增長46.31%;實現歸屬于上市公司股東的淨利潤(rùn)8492.42萬元，較上年同比下降51.99%。   　　在先前的三季度業績(jì)預告中，上海新陽表示： 　　年初至(zhì)報告期末，公司營業收入繼續保持大幅增長，半導體和塗料業務(wù)銷售收入均實現了50%左右的增長; 　　由(yóu)于公司開展光刻膠項目和參與國家重大科技項目，研發投入持續加(jiā)大，研發費用增加明顯。   　　今年6月末，上海新陽發布公(gōng)告稱(chēng)，公司自主研發的KrF(248nm)厚膜光(guāng)刻膠産(chǎn)品近日已通過客戶認證，并成功取(qǔ)得第一筆訂單。公告稱，上海新陽開發的365nm I線、248nm KrF、193nm ArF幹法及濕法光刻膠可适應(yīng)國内0.35-0.11微米、90-28nm芯片工(gōng)藝技術節點的需求。   　　11月30日，上海(hǎi)新陽在投資者互動平(píng)台表示，目前KrF光刻(kè)膠有持續訂單，ArF光刻膠尚(shàng)在認證當中。 　　來源：勢銀膜鏈

發布時間:

2021-12-31

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