國産(chǎn)arf光刻膠(jiāo)已有3家企業(yè)實(shí)現實質(zhì)性(xìng)的(de)技術突破(pò)

2021-09-12 10:32

勢銀(trendbank)研究(jiū)統計(jì)分析，2021年國(guó)内半導體(tǐ)光刻膠市(shì)場規(guī)模将(jiāng)達到29億人民币。

國内(nèi)半導體光刻(kè)膠(jiāo)布局及生産企(qǐ)業總計約(yuē)有14家，真正(zhèng)實(shí)現(xiàn)了批(pī)量供應(yīng)的(de)企業(yè)不足(zú)7家(jiā)，且主要(yào)集中在紫(zǐ)外負(fù)膠/正膠、i/g線(xiàn)光刻(kè)膠，如：北京(jīng)科華、蘇州瑞紅、濰坊(fāng)星泰克(kè)、艾森半導體、江(jiāng)蘇(sū)漢拓(tuò)等。而高端(duān)的krf光(guāng)刻膠(jiāo)國(guó)産化率不足(zú)1%，能夠實現(xiàn)産品(pǐn)供應(yīng)的有(yǒu)：北京科華、福建(jiàn)泓光半導體、江(jiāng)蘇漢(hàn)拓、上海新(xīn)陽等。在(zài)技術附(fù)加值更高的(de)arf光(guāng)刻膠産品(pǐn)上，目(mù)前國内還未能真正實現(xiàn)規模(mó)化量産訂(dìng)單供(gòng)應，就(jiù)數甯波南(nán)大光(guāng)電、博康旗(qí)下漢拓光學以(yǐ)及廣州微納光刻材(cái)料在(zài)arf光刻(kè)膠産品上有(yǒu)實(shí)質性(xìng)的(de)技術突(tū)破。

來源(yuán)：勢(shì)銀(trendbank)

窺探中(zhōng)國大陸規(guī)模最大的(de)晶圓(yuán)代工廠(chǎng)中芯國(guó)際各(gè)技術節點(diǎn)營收(shōu)結構，在2020年(nián)年底被美國打(dǎ)壓，四季度45nm以下(xià)制程營收發生(shēng)嚴重壓(yā)縮，但在(zài)今年上半年公(gōng)司整(zhěng)體運營開(kāi)始逐步轉(zhuǎn)好，營收增(zēng)長了(le)33%，28nm/14nm的先進制程占(zhàn)比更(gèng)是顯(xiǎn)著提升，這(zhè)也推動(dòng)了上遊先進(jìn)光刻膠的(de)需求，尤其(qí)是(shì)arf光(guāng)刻膠的國産替(tì)代。

來源(yuán)：smic

目前國(guó)内芯片制造企(qǐ)業(yè)消耗(hào)的arf光刻(kè)膠基本是采購(gòu)國外(wài)供應(yīng)商，例(lì)如：jsr、tok、信越化學等。我國本土光刻膠企業在arf光刻(kè)膠産品上(shàng)還是和國(guó)際老牌供(gòng)應商之間(jiān)存在(zài)很大(dà)的光刻性能差距，如(rú)：折射(shè)率、光敏度、分辨(biàn)率、線(xiàn)邊緣(yuán)粗糙(cāo)度等等參數。經(jīng)勢銀(trendbank)調研統計，我國正在真正(zhèng)逐步推進(jìn)arf光刻(kè)膠項(xiàng)目且(qiě)有技(jì)術實力(lì)的廠商(shāng)僅有如下6家，推(tuī)測(cè)這幾家(jiā)也将(jiāng)是未(wèi)來2-3年(nián)内逐(zhú)一打入本(běn)土芯(xīn)片制造商供應(yīng)鏈的最(zuì)有(yǒu)利競争者：

甯波南大(dà)光電

公司(sī)是(shì)arf光(guāng)刻膠産品(pǐn)開發與産業化項目(mù)的實(shí)施(shī)主(zhǔ)體單(dān)位，目前arf幹式光(guāng)刻膠已通(tōng)過50nm閃(shǎn)存平台認證和(hé)55nm邏輯電路(lù)平台(tái)認證。公司正在(zài)大力推進arf光刻(kè)膠（arf幹式分辨(biàn)率(lǜ)90-45nm，濕式分辨率65-14nm）産(chǎn)能建設(shè)，規(guī)劃年産能達到25噸（幹(gàn)式5噸和浸(jìn)沒式20噸）。

上(shàng)海新陽

公司是krf厚膜膠與(yǔ)arf光刻(kè)膠開(kāi)發與(yǔ)産業(yè)化項目的實(shí)施(shī)主體單位(wèi)，已擁有兩(liǎng)台arf光(guāng)刻機(jī)，可分别用(yòng)于幹法和(hé)濕法光刻膠(jiāo)開發。目(mù)前krf厚膜膠（分辨(biàn)率≥0.15μm，膜(mó)厚(hòu)0.3-15μm）已通(tōng)過(guò)下遊客戶(hù)驗證，可應(yīng)用于3d存儲(chǔ)器件(jiàn)工(gōng)藝/pad/implant，預計2021年年底會有訂(dìng)單批量供(gòng)應(yīng)出(chū)貨。其arf光刻膠尚處于客(kè)戶認證當中，可應用于先進邏輯(jí)節點的line/contact/hole/trench，按進(jìn)度預計(jì)在2021年年底(dǐ)會取(qǔ)得實(shí)質(zhì)性的突(tū)破進展。

北京科(kē)華

公司是國内(nèi)本土krf光(guāng)刻膠主(zhǔ)力供(gòng)應商(shāng)，目前(qián)已經打入(rù)國内(nèi)多家(jiā)芯(xīn)片制造(zào)廠(chǎng)供(gòng)應鏈（如長江存儲、中芯國(guó)際、廣(guǎng)州粵(yuè)芯、華(huá)虹半(bàn)導體），2021年上半年(nián)krf光(guāng)刻膠同比增長94.51%，産(chǎn)品可(kě)應用(yòng)于poly/aa/metal/implant/contact hole等(děng)工藝(yì)，其arf光刻膠(jiāo)項目(mù)正在(zài)按(àn)計劃推進。

晶瑞股份

公司是(shì)老牌半導(dǎo)體光刻膠供應(yīng)商之一，現已擁有一(yī)台(tái)arf幹式光(guāng)刻機(jī)。其krf光刻膠(jiāo)樣品正在下遊(yóu)客戶驗證(zhèng)，分辨率可達0.15-0.25μm，可應用(yòng)于hole/line/space等層工(gōng)藝，其(qí)arf幹式光刻膠正(zhèng)處(chù)在開發(fā)階段(duàn)，分辨率可達90-65nm。

江蘇漢拓

公司是徐州(zhōu)博康集團控股(gǔ)子公(gōng)司，具備徐州博康成(chéng)熟的krf、arf光刻膠(jiāo)單體開(kāi)發技(jì)術背(bèi)景，目(mù)前已開發krf正膠(jiāo)和負膠産(chǎn)品，以負(fù)膠（分辨(biàn)率0.25μm，膜(mó)厚0.6μm）和厚膜(mó)膠（分辨率(lǜ)1μm，膜厚(hòu)3-5μm）爲重點，可應用(yòng)于lift-off工藝(yì)、厚(hòu)鋁刻(kè)蝕、pad工(gōng)藝；arf系列光(guāng)刻膠正在(zài)以(yǐ)與(yǔ)客戶(hù)合(hé)作(zuò)開發(fā)模式推進(jìn)，開發的arf光(guāng)刻膠樣品(pǐn)分别達到(dào)了n90、n65、n55的(de)應用需求，已(yǐ)有一款(kuǎn)arf光刻膠産(chǎn)品小(xiǎo)批(pī)量供應(yīng)某存(cún)儲芯片制造(zào)商(shāng)，全系列産(chǎn)品還需進一步(bù)在客戶(hù)端(duān)評估驗證。

廣州微納光刻(kè)材(cái)料

公司(sī)專注開發arf光刻(kè)膠，目(mù)前主(zhǔ)要開(kāi)發了90nm和55nm節(jiē)點的arf光刻(kè)膠(jiāo)樣(yàng)品，90nm節(jiē)點的(de)光刻(kè)膠有很好的線(xiàn)寬粗(cū)糙度，55nm節點(diǎn)的(de)高寬比可達3.2:1，同複(fú)旦大學微電子學院(yuàn)鄧(dèng)海教授(shòu)課(kè)題組有深度(dù)合作，其以(yǐ)oem形式(shì)進行代工(gōng)生産，和廣(guǎng)東/嘉興兩(liǎng)家化工生産企(qǐ)業簽訂了(le)代工(gōng)協議。

勢銀(yín)(trendbank)2021年推(tuī)出最(zuì)新年度報(bào)告《2021年光刻膠産業市(shì)場分析報(bào)告》，本市場研究(jiū)報告側重于國(guó)内半導體(tǐ)/顯示(shì)光刻膠(jiāo)市場/供應鏈，報(bào)告(gào)具體(tǐ)目(mù)錄如下：

第1章(zhāng) 光刻(kè)膠概(gài)念及(jí)其行業發(fā)展概(gài)述

1.1 光刻(kè)膠概念(niàn)深度(dù)剖析

1.1.1 光刻膠應用場(chǎng)景分(fèn)析

1.1.2 光(guāng)刻(kè)膠的産(chǎn)品及應用(yòng)屬性(xìng)分析(xī)

1.1.3 先進(jìn)光刻(kè)材料熱點剖析(xī)

1.2 中國光刻膠行(háng)業發(fā)展(zhǎn)現狀

1.2.1 國内光刻膠整體(tǐ)市場及(jí)國(guó)産化(huà)情況

1.2.2 國(guó)内光刻(kè)膠産業鏈(liàn)瓶頸(jǐng)剖析

1.2.3 國内各地(dì)利好政策及項(xiàng)目布局剖析

第(dì)2章中(zhōng)國光刻膠專用(yòng)化學(xué)品行(háng)業競争環(huán)境分(fèn)析

2.1 全球光刻膠(jiāo)專用化(huà)學(xué)品主要企業格(gé)局現(xiàn)狀(zhuàng)

2.1.1 上遊主(zhǔ)要企(qǐ)業所屬(shǔ)地分布(bù)情況(kuàng)